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靶材哪些质量问题对大面积镀膜生产会产生影响?

靶材哪些质量问题对大面积镀膜生产会产生影响?

最佳答案:

1.靶材形状的影响
对于大面积镀膜常用的靶材按形状分包括平面靶和旋转靶,常用的平面靶包括铜靶、银靶、镍铬靶和石墨靶,
2.靶材相对密度和孔隙的影响
靶材的相对密度是靶材实际密度与理论密度的比值,单一成分靶材的理论密度为结晶密度,合金或混合物靶材的理论密度通过各组元的理论密度和其在合金或混合物中所占比例计算得出的。
3.靶材晶粒尺寸和结晶方向的影响
同一成分的靶材,晶粒尺寸较小的靶材比晶粒尺寸大的沉积速率快,这主要是由于晶界在溅射过程中更容易受到攻击,晶界越多,成膜就越快。
4.靶材纯度和材质均匀性的影响
溅射靶材的纯度对所镀薄膜的性能影响很大。当表面清洁的玻璃进入高真空镀膜腔室内,如果靶材纯度不够,在电场及磁场的作用下,靶材中的杂质颗粒在溅射过程中会附着到玻璃表面,造成部分位置的膜层不牢固出现脱膜现象。
5.靶材绑定及衬管质量的影响
为了避免一些韧性较差的金属、合金或氧化物等易裂材料在使用过程中破裂,在制备平面靶时通常会把靶材绑定在铜背板上,旋转靶材则会绑定在不锈钢衬管上,常用的绑定材料为金属铟或其它金属物质。
6.腔室条件对靶材成膜影响业玻璃
除上述靶材郾身存在的问题外,腔体未能清洁干净,或长时间生产后腔室表面吸附了较多的杂质,都在生产过程中会出现不导电颗粒附着在靶材表面。

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